互聯(lián)網(wǎng)藥品信息證書編號:(蘇)-經(jīng)營性-2020-0005 增值電信業(yè)務(wù)經(jīng)營許可證編號:
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1.應(yīng)用于汽車行業(yè)
MEMS壓力傳感器在汽車中的一個(gè)新應(yīng)用是傳動(dòng)系統(tǒng)壓力感測,通常用于自動(dòng)裝置之中,但也用于新型雙離合器傳動(dòng)系統(tǒng)。德國廠商推出了一款MEMS解決方案,使用油來保護(hù)硅薄膜,使其可以最高耐受70巴的壓力。博世幾年前也曾為MEMS壓力傳感器帶來巨大變化,當(dāng)時(shí)使用的是多孔硅,帶來了高度可靠的MEMS器件,這些器件已用于目前的側(cè)面氣囊等應(yīng)用之中。
2.應(yīng)用于醫(yī)療市場
壓力傳感器主要充當(dāng)外科手術(shù)使用的一次性低成本導(dǎo)管。但它們也用于昂貴的設(shè)備之中,在連續(xù)氣道正壓通氣(CPAC)機(jī)中感測壓力與差流。
3.應(yīng)用于工業(yè)領(lǐng)域
MEMS壓力傳感器的主要應(yīng)用包括采暖通風(fēng)及空調(diào)(HVAC)、水平面測量、各種工業(yè)過程與控制應(yīng)用。例如,除了精確的高度氣壓測量,飛機(jī)使用傳感器監(jiān)測引擎、襟翼等其它部件。

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