互聯(lián)網(wǎng)藥品信息證書(shū)編號(hào)：(蘇)-經(jīng)營(yíng)性-2020-0005 增值電信業(yè)務(wù)經(jīng)營(yíng)許可證編號(hào)：
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HMDS烘箱
發(fā)布日期：2024-09-24 | 瀏覽次數(shù)：
基本信息
| 省份/直轄市 | 上海 | 地區(qū) | |
| 采購(gòu)單位 | 上海工程技術(shù)大學(xué) | ||
| 所含內(nèi)容 | 醫(yī)用招標(biāo) |
| 1 | HMDS烘箱 | 1(臺(tái)) | *** | 真萍科技 | MD-*** | 1.1機(jī)外殼采用優(yōu)質(zhì)冷軋鋼鋼板烤漆處理制造，內(nèi)膽為醫(yī)用專用不銹鋼***L材料制成；加熱器均勻分布在內(nèi)膽外壁四周，內(nèi)膽內(nèi)無(wú)任何電氣配件及易燃易爆裝置。鋼化、防彈雙層玻璃門(mén)觀察工作室內(nèi)物體一目了然。1.2箱門(mén)閉合松緊能調(diào)節(jié)，整體成型的硅橡膠門(mén)封圈，確保箱內(nèi)高真空度。1.3微電腦智能控溫儀，具有設(shè)定，測(cè)定溫度雙數(shù)字顯示和PID自整定功能，控溫精確，可靠。1.4智能化觸摸屏控制系統(tǒng)配套日本三菱PLC模塊可供用戶根據(jù)不同制程條件改變程序，溫度，真空度及每一程序時(shí)間。1.5HMDS氣體密閉式自動(dòng)吸取添加設(shè)計(jì)，真空箱密封性能佳，確保HMDS氣體無(wú)外漏顧慮。整個(gè)系統(tǒng)采用優(yōu)質(zhì)材料制造，無(wú)發(fā)塵材料，適用***級(jí)光刻間凈化環(huán)境。1.6HMDS管路加熱功能，使HMDS液體進(jìn)入箱體的前端管路加熱，使轉(zhuǎn)為HMDS氣態(tài)時(shí)更易.1.7低液報(bào)警裝置，采用國(guó)際領(lǐng)先的液體感測(cè)器，能及時(shí)靈敏給出指令（當(dāng)HMDS液過(guò)低時(shí)發(fā)出報(bào)警及及時(shí)切斷工作起動(dòng)功能）1.8溫度與PLC聯(lián)動(dòng)保護(hù)功能（當(dāng)PLC沒(méi)有啟動(dòng)程序時(shí)，加溫功能啟動(dòng)不了，相反加溫功能啟動(dòng)時(shí)，PLC程序不按正常走時(shí)也及時(shí)切斷工作功能，發(fā)出警報(bào)）1.9整個(gè)箱體及HMDS氣體管路采用SUS***醫(yī)用專用不銹鋼材料，整體使用無(wú)縫焊接避免拼接導(dǎo)致HMDS液體腐蝕外泄對(duì)人體的傷害）1.***設(shè)備自帶溫度記錄及壓力記錄（能及時(shí)找到異常）二、整機(jī)尺寸、真空腔體尺寸：2.1內(nèi)膽尺寸：***X***X***mm)外尺寸***********mm容積：***L2.2載物托架：2塊2.3室溫+***℃-***℃控溫范圍：溫度分辨率：0.1℃溫度波動(dòng)度：±0.5℃2.4真空泵：干泵（選配）愛(ài)德華***i或者鮑斯干泵。真空度：***pa，2.5加熱方式：四面加熱。2.6可放2寸晶圓片或4寸晶圓片；6寸晶圓片;8寸晶圓片等。2.7開(kāi)箱溫度可以由user自行設(shè)定來(lái)降低process時(shí)間（正常工藝在***分鐘-***分鐘(按產(chǎn)品所需而定烘烤時(shí)間),為正常工作周期不含降溫時(shí)間（因降溫時(shí)間為常規(guī)降溫）； | 按行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)提供服務(wù)，質(zhì)保2年 | HMDS烘箱關(guān)鍵參數(shù)設(shè)置.xlsxHMDS銷售情況***全年-市占率.xlsxHMDS烘箱泵要求.docx |
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