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加速管：加速管是醫(yī)用電子直線加速器的核心部分，電子在加速管內(nèi)通過微波電場加速。加速管主要有兩種基本結(jié)構(gòu)——盤荷波導(dǎo)加速管和邊耦合加速管。盤荷波導(dǎo)加速管應(yīng)用于行波醫(yī)用電子直線加速器，而邊耦合加速管應(yīng)用于駐波醫(yī)用電子直線加速器。

微波功率源：微波功率源有兩種，磁控管和速調(diào)管。行波醫(yī)用電子直線加速器和低能醫(yī)用電子直線加速器使用磁控管作為微波功率源，而中高能駐波醫(yī)用電子直線加速器使用速調(diào)管作為功率源。

微波傳輸系統(tǒng)：主要包括隔離器、波導(dǎo)窗、波導(dǎo)、取樣波導(dǎo)、輸入輸出耦合器、三端或四端環(huán)流器、終端吸收負(fù)載、頻率自動穩(wěn)頻等組成。

電子槍：為醫(yī)用電子直線加速器提供被加速的電子。電子槍的陰極采用鎢或釷鎢制成，有結(jié)熱式、間接式和轟擊式三種加熱方式。

束流系統(tǒng)：控制和調(diào)節(jié)加速后的電子束或光子束，以確保精確的照射。

真空系統(tǒng)：包括真空泵（鈦泵），用于維持加速管內(nèi)的高真空狀態(tài)，確保電子束能夠無阻礙地加速。

恒溫水冷卻系統(tǒng)：用于冷卻加速管和其他關(guān)鍵部件，以保持穩(wěn)定的工作溫度。

電源及控制系統(tǒng)：提供加速器各部分所需的電源，并進(jìn)行精確控制。

照射頭：包括均整系統(tǒng)、射野形成系統(tǒng)等，用于調(diào)整和塑形放射束，以適應(yīng)不同的治療需求。

治療床：用于患者定位和固定，以確保治療的精確性。

聚焦線圈和偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)：聚焦線圈用于控制束流的聚焦，而偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)（偏轉(zhuǎn)室、偏轉(zhuǎn)磁鐵）用于控制束流的方向。

劑量監(jiān)測系統(tǒng)：用于監(jiān)測和確保照射劑量的準(zhǔn)確性。